Tikrinant šiuo metodu švariai nuvalyta ir nuriebalinta detalė ar kontroliuojamoji zona 10-15min. laikoma apipūsta su skvarbiuoju skysčiu. Vėliau nuplaunama vandeniu, nuriebalinama ir išdžiovinama, bei apipurškiama ryškalu.
Mikroskopiniai defektai nustatomi praėjus 10-15 min po nupūtimo ryškalu, apžiūrint detalę. Defekto buvimo vietoje skvarbiuoju skysčiu suvilgyti milteliai nusidažo ryškiai raudona spalva.
Kapiliarinės defektoskopijos metodais nustatomi įtrūkimai, nevientisumai, išsisluoksniavimai, tuštumos ir kiti atviri paviršiniai defektai.
Fizikinių kapiliarinių metodų pagrindas - kapiliarinio aktyvumo reiškinys, t.y. skysčio sugebėjimas įsiskverbti į mikroplyšelius (skyles, kanalus). Kapiliarinis aktyvumas priklauso nuo kieto kūno drėkinimo skysčiu. Skystis gerai drėkina kietą kūną, jeigu jų molekulių tarpusavio sąveikos jėgos didesnės negu skysčio molekulių sąveikos jėgos. Kuo didesnis kapiliaro (defekto) skersmuo ir geriau drėkinamos medžiagos, tuo skystis greičiau ir giliau įsiskverbia į kapiliarą ir tuo geriau išaiškinami esantys defektai.